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一文讀懂吸氣劑復(fù)合型離子泵的性能特點
一文讀懂吸氣劑復(fù)合型離子泵的性能特點
更新時間:2023-04-09 點擊次數(shù):1054
吸氣劑復(fù)合型離子泵
是一種高效的氣體抽取技術(shù),下面就給大家詳細(xì)介紹一下它的性能特點,希望能夠幫助到大家!
吸氣劑復(fù)合型離子泵的性能特點如下
:
1、高抽速和低壓力:采用電離泵和吸氣劑共同作用,可實現(xiàn)高抽速和低壓力的抽取。這種離子泵的抽速通常在100~10,000L/s之間,而其抽取壓力通常在10^-9~10^-11Torr之間。
2、高真空下也能工作:適用于高真空條件下的氣體抽取,可以將真空度提高到非常低的水平。這使得它在許多應(yīng)用中都是
重要
的。例如,在半導(dǎo)體制造中,需要高真空環(huán)境來避免污染和減少雜質(zhì)。
3、可以處理大量氣體種類:可以處理各種類型的氣體,包括惰性氣體、反應(yīng)性氣體和蒸汽。這種泵具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,例如在化學(xué)制造中可用于處理危險氣體。
4、長壽命:由于其內(nèi)部沒有運動的機械部件,因此其壽命比其他類型的泵長。它們需要很少的維護和保養(yǎng),可以在多年甚至幾十年的時間內(nèi)持續(xù)運行。
5、清潔和安全:它是一種相對干凈、不產(chǎn)生粉塵和污垢的抽取技術(shù)。此外,它也是非常安全的,因為電離器內(nèi)只有低電壓和低電流。
總之,
吸氣劑復(fù)合型離子泵
是一種高效、低壓力、長壽命、廣泛應(yīng)用、清潔和安全的氣體抽取技術(shù)。由于其出色的性能,它在許多領(lǐng)域都被廣泛使用,例如在半導(dǎo)體制造、化學(xué)制造、材料研究和天文學(xué)中等。
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